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電子級(jí)硫酸提純設(shè)備您了解嗎

來源:http://aguthriecountyretrospect.com/news799976.html   發(fā)布時(shí)間:2022/4/27 14:55:00

       電子級(jí)硫酸又被稱為超純硫酸、高純硫酸,主要用于硅晶片的清洗、光刻、腐蝕以及印刷電路板的腐蝕和電鍍清洗。那么電子級(jí)硫酸的發(fā)展現(xiàn)狀及前景如何呢?電子級(jí)硫酸石英提純設(shè)備為您介紹。

 

       電子級(jí)硫酸用于硅晶片的清洗已有30多年的歷史。電子級(jí)硫酸是半導(dǎo)體工業(yè)常用的八大化學(xué)試劑之一,消耗量居第三位。電子級(jí)硫酸與集成電路的發(fā)展密切相關(guān)。隨著電子工業(yè)的發(fā)展,電子級(jí)硫酸的研制和生產(chǎn)亦得到了快速發(fā)展。 在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,硅晶片常常會(huì)被不同的雜質(zhì)污染,這些雜質(zhì)會(huì)導(dǎo)致硅晶片產(chǎn)率下降,為了獲得高質(zhì)量、高產(chǎn)率的集成電路芯片,必須始終保持硅晶片清潔,尤其是在高溫工序之前(如擴(kuò)散、外延生長和化學(xué)氣相沉淀)。因此,半導(dǎo)體生產(chǎn)幾乎每兩道工序之間都要進(jìn)行清洗。在90~125℃的溫度范圍內(nèi),硫酸是一種清洗劑,它幾乎可以除去硅晶片上所有的無機(jī)殘留物與金屬顆粒;在硫酸中加入氧化劑(過氧化氫、過硫酸按、硝酸、臭氧等)可除去硅晶片上的有機(jī)物。 通過蒸餾操作,可以直接獲得所需要的產(chǎn)品,而吸收和萃取還需要如其它組分。如果您需要購買硫酸提純設(shè)備,歡迎來電聯(lián)系。

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