電子級硫酸提純設(shè)備
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- 產(chǎn)品介紹
電子級硫酸主要用于半導(dǎo)體硅晶片的清洗與蝕刻,半導(dǎo)體硅晶片為什么需要經(jīng)常清洗,硫酸又在清洗中扮演著什么樣的角色呢?電子級硫酸提純設(shè)備廠家為您簡單介紹。
在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,硅晶片常常會被不同的雜質(zhì)污染,這些雜質(zhì)會導(dǎo)致硅晶片產(chǎn)率下降,為了獲得高質(zhì)量、高產(chǎn)率的集成電路芯片,必須始終保持硅晶片清潔,尤其是在高溫工序之前(如擴(kuò)散、外延生長和化學(xué)氣相沉淀)。因此,半導(dǎo)體生產(chǎn)幾乎每兩道工序之間都要進(jìn)行清洗。在90~125℃的溫度范圍內(nèi),硫酸是一種非常有效的清洗劑,它幾乎可以除去硅晶片上所有的無機(jī)殘留物與金屬顆粒;在硫酸中加入氧化劑(過氧化氫、過硫酸按、硝酸、臭氧等)可除去硅晶片上的有機(jī)物。
可見,電子級硫酸確實可以對半導(dǎo)體硅晶片起到非常好的清洗效果。我公司是一家電子級硫酸提純設(shè)備廠家,專門銷售電子級硫酸提純設(shè)備及其他各種類型的提純設(shè)備,歡迎您來電咨詢。
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來源:http://aguthriecountyretrospect.com/product729192.html
發(fā)布時間:2021/5/24 10:43:17